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超纯水：是将RO纯水、蒸馏水、去离子水经过进一步的离子交换、紫外杀菌等处理，将水中的导电介质几乎完全去除。其电阻率可以达到18.2MΩ.cm，水质优于国标GB/T 6682-2008实验室一级用水标准。